DataPhysics Instruments GmbH

Das Oberflächen-Profilometer SPA 25 nutzt die Weiß­licht­in­ter­fe­ro­me­trie, welche eine Höhenauflösung von bis zu 0.1 nm ermöglicht - selbst bei kleinen Vergrößerungsfaktoren. Es kann entweder mit einem manuellen oder einem automatischen motorisierten Probentisch verwendet werden. Der Einsatz eines motorisierten Probentisches erlaubt es, softwaregesteuert mehrere individuelle Aufnahmen zu einem kombinierten Bild zusammenzusetzten. So können größere Oberflächenareale von bis zu 300 mm x 300 mm visualisiert und analysiert werden.

Hauptmerkmale

• Weiß­licht­in­ter­fe­ro­me­trie-Messtechnik
• piezoelektrischer Präzisions-Scanantrieb
• Scan-Bereich 400 μm (Z-Richtung) und Scan-Geschwindigkeit bis zu 11.3 μm/s bei voller Auflösung
• USB 3 Hochgeschwindigkeitskamera mit 1920 x 1200 Pixel bei max. Auflösung und bis zu 3000 Bilder/s mit begrenzter ROI
• Zwei Scan-Modi: VSI (vertical scanning interferometry) mit 1 nm Höhenauflösung (Z-Richtung) und EPSI (extended phase shift interferometry) mit 0.1 nm Höhenauflösung (Z-Richtung)
• Mirau-Interferometer Mikroskop-Objektive mit verschiedenen Vergrößerungsfaktoren
• Manueller oder automatischer Probentisch
• Steuergerät mit leistungsstarkem integriertem PC inkl. Intel® Core™ I5, 16 GB RAM, 500 GB SSD, NVIDIA® Grafikkarte und Microsoft® Windows™ 10 Pro

Software: Das SPA 25 wird über die SPS 25 Surface Profile Software gesteuert. Sie verwendet die branchen-führende MountainsMap® Imaging Topography Analysesoftware, um die Oberflächenprofile auszuwerten. Erfahren Sie mehr über die Software für das SPA 25.

Zubehör: Das SPA 25 kann mit manuellen oder automatischen Probentischen kombiniert werden. Außerdem stehen Mirau-Interferometer Mikroskop-Objektive mit verschiedenen Vergrößerungsfaktoren zur Auswahl. Erfahren Sie mehr über das verfügbare Zubehör.