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Quadrupolmassenspektrometer Für die Prozessanalyse

Redakteur: Doris Popp

Das Quadrupolmassenspektrometersystem RGA wurde von SI Scientific Instruments speziell für die Prozessanalyse in Halbleiter-, Gas-, Pharma-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen entwickelt.

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Vakuumanalysator
Vakuumanalysator
(Bild: SI Scientific Instruments)

Das simple Design enthält lediglich eine geringe Anzahl von Bauteilen was die Ausgaskomponenten minimiert und die Zuführung von Verunreinigungen reduziert. Das System besteht aus Restgasanalysator mit Detektor, Elektronikeinheit und Echtzeit-Software auf Windowsbasis. Der Messkopf enthält einen Faraday-Detektor und zur Steigerung der Empfindlichkeit und Verkürzung der Messzeiten kann zusätzlich ein Sekundärelektronenvervielfacher (SEV) eingebaut werden. Durch Autokalibrationsroutinen ist ein Austausch von Filament oder SEV vom Anwender selbst vollziehbar.

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