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Massenspektrometrie Gasanalysesysteme für Druckbereiche bis 50 mbar

| Redakteur: Dr. Ilka Ottleben

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Der HPA 220 findet seinen Einsatz bei der Überwachung und Dokumentation von Vakuumprozessen, wie der Beschichtung von Architekturglas oder Dünnschichtsolarzellen. (Bild: Pfeiffer Vacuum)
Der HPA 220 findet seinen Einsatz bei der Überwachung und Dokumentation von Vakuumprozessen, wie der Beschichtung von Architekturglas oder Dünnschichtsolarzellen. (Bild: Pfeiffer Vacuum)

Für die Überwachung und Dokumentation von Vakuumprozessen, wie der Beschichtung von Architekturglas oder Dünnschichtsolarzellen, benötigt man Gasanalysesysteme, die eine hohe Messgeschwindigkeit, Stabilität und Auflösung aufweisen. Pfeiffer Vacuum hat zu diesem Zweck den High Pressure Analyzer HPA 220 entwickelt. Er ist je nach Anwendungsbedingung mit drei verschiedenen sowohl manuell als auch elektropneumatisch bedienbaren Gaseinlassventilen erhältlich. Sein modularer Aufbau macht ihn zu einer flexibel einsetzbaren Vakuumlösung für Gasanalysen im Druckbereich von Hochvakuum bis 50 mbar. Er ist mit einer Vielzahl digitaler und analoger Ein- und Ausgänge ausgestattet, die die einfache Einbindung in übergeordnete Steuerungssysteme ermöglichen und den Einsatz so noch flexibler machen.

Analytica: Halle A1, Stand 103

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