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Turbopumpen

Hohe Kompression insbesondere bei leichten Gasen

| Redakteur: Doris Popp

Die Turbopumpen Hipace 700 H von Pfeiffer Vacuum eignen sich für die Erzeugung von Hoch- und Ultrahochvakuum.

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Turbopumpe Hipace 700 H
Turbopumpe Hipace 700 H
(Bild: Pfeiffer Vacuum)

Durch das hohe Kompressionsverhältnis entsteht in der Kammer ein niedriges Restgasspektrum, wie es z.B. für bestimmte massenspektrometrische Applikationen wünschenswert ist. Dank des ausgereiften Rotordesigns verfügen die Turbopumpen Hipace 700 H über eine hohe Vorvakuumverträglichkeit von bis zu 22 hPa. Damit erreichen sie laut Firmenangaben das Ultrahochvakuum auch beim Betrieb mit hohen Vorvakuumdrücken, wie sie in der Kombination mit Membranpumpen auftreten. Aufgrund der Hybridlagerung, einer Kombination aus Keramik-Kugellager auf der Vorvakuumseite und permanentmagnetischem Radiallager auf der Hochvakuumseite, sind sie mit einem robusten Lagerkonzept ausgestattet.

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