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Nanoelektronik

In Jülich entsteht modernes Nanoelektronik-Labor

23.11.2010 | Redakteur: Marc Platthaus

Spatenstich für die neue Helmholtz Nanoelectronic Facility, (von links): Prof. Dr. Andreas Offenhäusser, Prof. Dr. Achim Bachem, Parlamentarischer Staatssekretär Thomas Rachel, Prof. Sebastian M. Schmidt und Prof. Detlev Grützmacher.
Spatenstich für die neue Helmholtz Nanoelectronic Facility, (von links): Prof. Dr. Andreas Offenhäusser, Prof. Dr. Achim Bachem, Parlamentarischer Staatssekretär Thomas Rachel, Prof. Sebastian M. Schmidt und Prof. Detlev Grützmacher.

Mit dem offiziellen Spatenstich begann im November der Bau der Helmholtz Nanoelectronic Facility (HNF). In den kommenden drei Jahren wird auf dem Gelände des Forschungszentrums Jülich ein Reinraumzentrum mit rund 1000 Quadratmetern Fläche entstehen, in das eine Summe von rund 25 Millionen Euro investiert wird. In der HNF sollen u.a. Materialien, Prozesse und Strukturen im Nanometerbereich für die nächste Generation der Halbleiter in den Chips von übermorgen entwickelt werden.

Jülich – Für 9,8 Millionen Euro aus den Mitteln der Helmholtz-Gemeinschaft wird mit der HNF ein hochmodernes Reinraumzentrum entstehen. In wissenschaftliche Geräte und Betriebstechnik werden weitere 15,5 Millionen Euro investiert, neben den bereits durch Projekte beim Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) finanzierten Geräten. Der industriekompatible Gerätepark wird Anlagen zu Belichtung, Reinigung und Kontrolle von Wafern, zur Bearbeitung mit Ionenstrahlen (Ionenimplanter, Tandetron) und weitere nanoelektronische Prozesstechnik enthalten. In einem so genannten Epitaxie- und Nanofabrikationscluster (NEC) werden eine Vielzahl von Geräten zur Herstellung, Prozessierung und Analyse von kleinsten Strukturen auf künstlichen Kristallen zusammengefasst. Ein verunreinigungsfreier Transport von Proben innerhalb der etwa 6 Meter mal 15 Meter großen Vakuumanlage ist so gewährleistet. Durch den modularen Aufbau bleibt jedoch sichergestellt, dass externe Nutzer aus Industrie und Universitäten mit ihren mitgebrachten Geräten in der neuen HNF arbeiten können.

„Mit der Helmholtz Nanoelectronic Facility macht Jülich einen großen Schritt nach vorn und trägt zur weiteren Stärkung der Forschungskompetenz in Deutschland bei. Es geht nicht nur um das bessere Verständnis von Halbleiterbauelementen der etablierten Siliziumtechnologie, sondern auch um Materialien und Konzepte für ganz neue Nano-Schaltkreise“, erklärte der Parlamentarische Staatssekretär im Bundesministerium für Bildung und Forschung, Thomas Rachel, MdB, beim offiziellen Spatenstich. „Ich wünsche der HNF, dass sie sich auch zu einer Plattform für den Austausch von Wissen und Know-how weit über den Raum von Jülich und Aachen hinaus entwickelt und auch eine gute Basis für die Kooperation mit unseren europäischen Partnern darstellt.“

Forschung an Schaltungen mit lebenden Zellen

Eine Forschungslinie am HNF wird die bewährte CMOS-Technik im industriekompatiblen 300-Millimeter-Wafer-Standard bis an die Grenze des physikalisch Machbaren treiben. Aber auch Schaltungen, die auf neuartigen Oxiden, Spins, Molekülen und sogar auf lebenden Zellen beruhen, können in der HNF bereits erprobt werden. „Das Forschungszentrum Jülich ist eine der führenden Forschungsstätten für zukünftige Verfahren der Informationstechnologie“, sagte Prof. Achim Bachem, Vorstandsvorsitzender des Forschungszentrums Jülich. „Die HNF wird uns ermöglichen, diese Schlüsseltechnologie für Deutschland weiter auszubauen.“

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