Innovationspreis Neues 3D-Raster-Laservibrometer-Mikroskop erhält Innovationspreis

Neues 3D-Raster-Laservibrometer-Mikroskop zur Messung von dreidimensionalen Schwingungsparametern mikroskopischer Objekte in Echtzeit erhält Sensorik-Innovationspreis.

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FAULHABER Antriebssysteme

PCE Deutschland GmbH

2mag AG

Polytec PT GmbH

Der AMA Fachverband für Sensorik kürte im Rahmen der Fachmesse Sensor+Test das 3D-Raster-Laservibrometer-Mikroskop von Polytec zum Gewinner des AMA Innovationspreises 2013. Den mit 10 000 Euro dotierten Preis teilt sich Polytec mit der Xarion GmbH aus Wien. Das neue 3D-Raster-Laservibrometer-Mikroskop ermöglicht die Messung von dreidimensionalen Schwingungsparametern mikroskopischer Objekte in Echtzeit. Die Innovation beim MSA-100-3D besteht darin, nur einen Messstrahl auf die Oberfläche zu fokussieren und das Streulicht gleichzeitig aus drei Richtungen zu detektieren. Der dabei auftretende richtungsabhängige Doppler-Effekt wurde so noch nie für die optische Sensortechnik genutzt, betont Polytec. Damit werden die hohe Messgeschwindigkeit der Laser-Doppler-Vibrometrie und seine hohe Amplitudenauflösung erstmals vollständig für Mikrostrukturen nutzbar. Die Messzeit bei In-Plane-Messungen reduzieren sich auf diese Weise um den Faktor 1000, die Amplitudenauflösung steigt sogar um den Faktor 100 000 gegenüber der bisher verwendeten Video-Stroboskopie. Das MSA-100-3D eröffnet damit neue Möglichkeiten in Forschung, Entwicklung und der Qualitätskontrolle von Mikrosystemen.

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