Profilometer Interferometrie und Konfokaltechnik

Mit dem berührungslos messenden, optischen Profilometer Plu Neox von Sensofar präsentiert Schaefer Technologie ein Gerät, das Interferometrie, Konfokaltechnik und Auflichtmikroskopie in einem kompakten Messgerät vereint.

Anbieter zum Thema

Carl Roth GmbH & Co. KG

Schaefer Technologie GmbH

Das 3D-Messmikroskop gestattet den Wechsel zwischen den verschiedenen Messtechniken innerhalb weniger Sekunden. Das Neox eignet sich für die berührungslose Messung von Oberflächen mit unterschiedlichsten Beschaffenheiten im Mikro- und Nano-Bereich. Das Einsatzgebiet reicht dabei von der Rauheitsmessung auf extrem glatten Oberflächen mit einer vertikalen Auflösung (sub-nanometer) im Interferometriebetrieb bis zur Vermessung extrem rauer, sehr schlecht reflektierender Oberflächen mit Flankenwinkeln von bis zu 70 Grad im Konfokalmodus. Durch den Einsatz sehr kurzwelliger blauer LEDs als Beleuchtungseinheit wird auch lateral die höchstmögliche optische Auflösung garantiert. Das Beleuchtungskonzept kommt dabei ohne bewegliche Bauteile im Messkopf aus.

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