Turbopumpe mit 4.500 l/s Saugvermögen

Vakuumtechnik Turbopumpe mit 4.500 l/s Saugvermögen

20.03.2026 Quelle: Pressemitteilung Pfeiffer Vacuum GmbH 2 min Lesedauer

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Pfeiffer Vacuum GmbH

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Pfeiffer Vacuum stellt die Turbopumpe ATH 4506 M mit integriertem Controller vor – das nun größte Modell der ATH-M Baureihe. Die Pumpe erreicht in neun Minuten ihre volle Drehzahl und ist in zwei Ausführungen erhältlich – unbeheizt oder mit Temperaturmanagementsystem bis 90 °C.

Turbomolekular-Vakuumpumpe ATH 4506 M (Bild: Pfeiffer Vacuum) — Turbomolekular-Vakuumpumpe ATH 4506 M
(Bild: Pfeiffer Vacuum)

Mit einem Saugvermögen von 4.500 l/s für Stickstoff eignet sich die neue Turbopumpe von Pfeiffer Vacuum für Prozesse in der Halbleiterproduktion, der Großflächenbeschichtung und für Anwendungen, bei denen ein hoher Gasdurchsatz erforderlich ist, etwa bei der Evakuierung großer Vakuumkammern für die Weltraumsimulation.

Die ATH 4506 M verfügt über einen integrierten Controller, der separate externe Steuereinheiten überflüssig macht, die Installation vereinfacht und den für das Systemsetup benötigten Platz reduziert. In nur neun Minuten erreicht die Vakuumpumpe ihre volle Drehzahl von 23.500 Umdrehungen pro Minute, sodass Herstellungsprozesse schnell anlaufen können. Ein Energiesparmodus senkt die Leistungsaufnahme bei Inaktivität und trägt zu einem energieeffizienten Betrieb bei.

Abb.1: Fehler passieren jedem. Die 10 häufigsten Fehler beim Einsatz von Turbomolekular-Vakuumpumpen zeigt dieser Beitrag – und gibt Tipps, wie man korrekt mit den Geräten umgeht. (Bild: Pfeiffer Vacuum)

Auf die Prozessanforderungen abgestimmtes Temperaturmanagement

Je nach Prozessbedingungen sind unterschiedliche Betriebstemperaturen erforderlich. Aus diesem Grund ist die Turbopumpe in zwei Ausführungen erhältlich:

Eine unbeheizte Variante für saubere, korrosionsfreie Anwendungen, die keine zusätzliche Heizung benötigen – zum Beispiel in der Großflächenbeschichtung.

Eine Ausführung mit einem Temperaturmanagementsystem bis 90 °C für die Halbleiterproduktion und andere korrosive Prozesse, bei denen eine moderate Beheizung Kondensation und Partikelbildung verhindert.

Indem sie die Temperatur der Vakuumpumpe an den Prozess anpasst, minimiert die ATH 4506 M Kondensation und Partikelansammlungen im Pumpeninneren, reduziert den Verschleiß interner Bauteile und verhindert ungeplante Stillstandszeiten. Dies führt zu höherer Zuverlässigkeit, konstanter Produktqualität und niedrigeren Gesamtbetriebskosten, heißt es in einer Pressemeldung.

Zustandsüberwachung und digitale Integration

Die Turbopumpe ist mit internen Sensoren zur Überwachung von Temperatur, Spülbedingungen, Drehzahl und außeraxialer Bewegung ausgestattet. Anhand dieser Messungen kann der Betreiber den Zustand der Vakuumpumpe in Echtzeit überwachen und Unregelmäßigkeiten frühzeitig erkennen. Dies hilft, ungeplante Stillstandszeiten zu vermeiden, und erleichtert die vorausschauende Wartung. Da die Vakuumpumpe IoT-fähig ist, kann sie an digitale Überwachungssysteme angeschlossen und in automatisierte Produktionsumgebungen integriert werden.

Mit der Schutzart IP54 ist die Vakuumpumpe gegen Staub und Spritzwasser geschützt. Dies erhöht ihre Widerstandsfähigkeit in anspruchsvollen Industrieumgebungen und verlängert ihre Lebensdauer.

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