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Turbomolekular-Vakuumpumpen 10 Tipps für optimale Vakuumtechnik

Ein Gastbeitrag von Dr. Sandra Thirtle-Höck, Head of Communications Busch Group, Pfeiffer Vacuum GmbH 8 min Lesedauer

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Turbomolekular-Vakuumpumpen vereinen präzises Hightech und Robustheit. Doch Fehler bei Installation oder Betrieb können zu erheblichen Leistungsverlusten, Kontaminationen oder gar dem Totalausfall führen. Diese Top-10-Liste gibt Tipps, wie die Vakuumpumpen möglichst lange sicher und einwandfrei laufen.

Abb.1: Fehler passieren jedem. Die 10 häufigsten Fehler beim Einsatz von Turbomolekular-Vakuumpumpen zeigt dieser Beitrag – und gibt Tipps, wie man korrekt mit den Geräten umgeht.(Bild: Pfeiffer Vacuum)
Abb.1: Fehler passieren jedem. Die 10 häufigsten Fehler beim Einsatz von Turbomolekular-Vakuumpumpen zeigt dieser Beitrag – und gibt Tipps, wie man korrekt mit den Geräten umgeht.
(Bild: Pfeiffer Vacuum)

Turbomolekular-Vakuumpumpen, auch Turbopumpen genannt, sind das Herzstück vieler Hightech-Prozesse – von der Halbleiterproduktion bis hin zu Forschungslaboren. Jedoch können schon kleine Fehler bei der Einrichtung oder dem Betrieb zu kostspieligen Stillstandszeiten, Schäden am Equipment oder einem vollständigen Ausfall der Vakuumpumpe führen. In diesem Artikel besprechen wir die zehn häufigsten Fallstricke und zeigen, wie ein sicherer Betrieb gelingt.

1. Hochvakuumleitungen passend auslegen

Hochvakuumleitungen und -ventile sollten dem Nennsaugvermögen der Turbopumpe entsprechend ausgelegt werden. Andernfalls führt ein ungünstiger Leitwert zu erheblichen Verlusten des effektiven Saugvermögens. Zur Veranschaulichung der möglichen Auswirkungen einer falsch ausgelegten Hochvakuumleitung hier ein Beispiel mit einer Turbomolekular-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 260 L/s, Luft als Fördermedium und einer 250 mm langen Vakuumleitung:

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