Innovatives Restgasanalyse-System für Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle

Flexibilität und Sicherheit in einem kompakten System Restgasanalysen von Atmosphärendruck bis Hochvakuum

04.06.2025 Quelle: Pressemitteilung Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 1 min Lesedauer

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Ein neues Restgasanalyse -System verspricht in einem kompakten System präzise Restgasanalyse für Anwendungen von Atmosphärendruck bis Hochvakuum. Unterstützt wird das System durch umfangreiche Sicherheitsfunktionen und flexible Datenintegration.

Der neue HiCube Neo RGA für die Restgasanalyse arbeitet in einem breiten Druckbereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum. (Bild: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions) — Der neue HiCube Neo RGA für die Restgasanalyse arbeitet in einem breiten Druckbereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum.
(Bild: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions)

Restgasanalysen sind in der Halbleiterfertigung, Vakuumtechnik und Materialforschung entscheidend für Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle. Die Restgasanalyse (RGA), Hicube Neo RGA, von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions kombiniert eine Hicube Neo Vakuumpumpe und ein Prismapro Massenspektrometer in einem kompakten System. Die integrierte Turbomolekularpumpe erzeugt das notwendige Vakuum, wodurch das Prismapro Massenbereiche von Gasmolekülen analysieren und Daten für Überwachung und Steuerung liefern kann. Dieses System arbeitet von Atmosphärendruck bis Hochvakuum und findet Anwendung in Beschichtungen und analytischen Aufgaben. Sicherheitsfeatures wie ein Vakuummessgerät überwachen den Totaldruck und schalten das Massenspektrometer-Filament bei Drucküberschreitung ab. Das System unterstützt externe Sensoren mit digitalen und analogen Ein- und Ausgängen für erweiterte Analysen. Ein Touch-Display ermöglicht Datenzugriff, während die PV Massspec Software die Analyse vereinfachen soll. Dank Plug&Pump-Design ist das System mobil einsetzbar und ein integriertes Heizgerät soll Verunreinigungen reduzieren, indem es adsorbierte Gase entfernt. Dies ermöglicht eine flexible Anpassung an unterschiedliche Arbeitsplätze und Anwendungen, wodurch Effizienz und Präzision weiter gesteigert werden können.

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Stand: 08.12.2025

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