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Positioniersystem Präzise Positionierung von großen und schweren Proben

Quelle: Pressemitteilung Steinmeyer Mechatronik 2 min Lesedauer

Anbieter zum Thema

Steinmeyer Mechatronik GmbH
Kern & Sohn GmbH
Metrohm Deutschland GmbH & Co. KG
Shimadzu Deutschland GmbH

Das 2X‑Y‑Ys(Z) von Steinmeyer Mechatronik ist ein reinraumgeeignetes, portalbasiertes Positioniersystem für die Raman‑Spektroskopie, das große und schwere Proben präzise in XYZ bewegt (400 × 400 mm Arbeitsweg, zusätzlicher 400‑mm Beladehub, bis 40 kg; geeignet u. a. für 12"-Wafer). Es ist für 24/7‑Betrieb ausgelegt, lässt sich leicht integrieren und bietet Optionen wie Längenmaßstab (0,5 µm), Linearmotor und Kippachsen.

Das innovative 2X-Y-Ys(Z) Positioniersystem von Steinmeyer ist eine ideale Lösung zur präzisen Positionierung von großen und schweren Proben in der Raman-Spektroskopie.(Bild: Steinmeyer Gruppe)
Das innovative 2X-Y-Ys(Z) Positioniersystem von Steinmeyer ist eine ideale Lösung zur präzisen Positionierung von großen und schweren Proben in der Raman-Spektroskopie.
(Bild: Steinmeyer Gruppe)

Das 2X-Y-Ys(Z) Positioniersystem von Steinmeyer Mechatronik wird zur präzisen Positionierung von großen und schweren Proben in der Raman-Spektroskopie eingesetzt. Der reinraumtaugliche Mikroskopietisch in Gantry-Bauweise bietet einen zusätzlichen Beladehub sowie einen großen Scanbereich, hohe Tragfähigkeit und minimalem Platzbedarf. Individuelle Anpassungen sind möglich. Die Raman-Spektroskopie hat sich als zerstörungsfreie, kontaktlose Methode zur Analyse und Charakterisierung von Materialien in Industrie und Forschung bewährt. Qualität und Verlässlichkeit der Ergebnisse stehen und fallen dabei mit der Leistungsfähigkeit des Positioniersystems, das für die Ausrichtung und Bewegung der Proben eingesetzt wird. Klassische Mikroskopietische verfügen i. d. R. über Scanbereiche von maximal 150 x 150 mm und sind damit für viele Anwendungen deutlich zu klein. Laut Hersteller ermöglicht das hochauflösende Pioniersystem Bewegungen in XYZ für Proben bis 400 x 400 mm mit zusätzlichem Beladehub und Lasten bis zu 40 kg. Damit eignet es sich für die Raman-Messung von schweren Wafer-Chucks sowie großen Wafern bis 12".

Der gute Stillstand, der gleichmäßige Lauf und die Schwingungsisolierung stellen eine exakte Fokussierung des spezifischen Probenbereichs sicher. So können detaillierte Informationen auf molekularer Ebene gewonnen werden. Der Gantry-Aufbau sorgt für die XY-Bewegung. Mit einem doppelt langen Hub in der oberen Achse wird – zusätzlich zum 400-mm-Arbeitshub in XY – ein Beladehub von weiteren 400 mm realisiert. Die Vertikalbewegung und der Fokus werden durch eine schräg angeordnete Achse bei gleichzeitiger Bewegung der Y-Achse ermöglicht. Der Schräghub ist Teil des Beladehubs. Durch die gleichzeitige Ansteuerung der Achsen Y und Ys wird die vertikale Bewegung in Z realisiert. Dank der Vertikalverfahrung können verschiedene Probendicken vermessen werden. Das Positioniersystem ist für einen wartungsarmen Betrieb bei 24/7-Produktion bis Reinraumklasse  4 ausgelegt (höher auf Anfrage) und lässt sich unkompliziert in bestehende Mechaniken und Hausungen integrieren. Die Optik kann ortsfest platziert werden. Für den Antrieb sorgen Kugelgewindetriebe und Schrittmotoren. Die Anbindung an eine vorhandene Steuerelektronik erfolgt über eine externe Steuerung und DLL- oder AVI-Interfaces. Steinmeyer bietet eine Vielzahl an Möglichkeiten zur applikationsspezifischen Anpassung an. Es stehen u. a. folgende Optionen zur Verfügung: Linearmaßstab für 0,5 µm Wiederholbarkeit, Linearmotor für hohen Durchsatz und Kippachsen zum Ausrichten des Chucks.

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