Mikro- und Nanostrukturierung Elektronenstrahlschreiber für die Nano- und Mikrosystemtechnik

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Karlsruhe – Das Forschungszentrum Karlsruhe (FZK) hat im Juli 2007 einen neuen Elektronenstrahlschreiber eingeweiht. 100 000 Volt Spannung beschleunigen die Elektronen, die in eine dünne Kunststoffschicht auf Siliziumscheiben kleinste Strukturen schreiben. Bis zu 0,8 Nanometer genau kann der Elektronenstrahl gelenkt werden; die kleinsten Strukturen die geschrieben werden können, sind rund zehn Nanometer groß. Damit könnte der Text einer 25-bändigen Enzyklopädie leicht auf einem Sandkorn Platz finden. Der neue Elektronenstrahlschreiber ist 2,8 Tonnen schwer und füllt einen ganzen Reinraumtrakt im Institut für Mikrostrukturtechnik des FZK. Er soll es den Forschern ermöglichen, auf vielen Gebieten der Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik neue Anwendungen zu erschließen: Röntgenlinsen großer Brennweite gehören ebenso dazu wie die Nanolithographie, um mit so genannten Metamaterialien perfekte Linsen herzustellen. Der Elektronenstrahlschreiber ist darüber hinaus ein wichtiger Baustein der künftigen Karlsruhe-Nano-Micro-Facility (KNMF). Die KNMF soll zu einer großforschungstypischen Technologieplattform für die Herstellung und Charakterisierung von Nano- und Mikrostrukturen aufgebaut werden. Damit eröffnet das Forschungszentrum nicht nur seinen akademischen Partnern, sondern insbesondere der Industrie einen schnellen Zugang zu der für künftige ingenieurtechnische Entwicklungen viel versprechenden Nanotechnologie.

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