Ionen-Zerstäuberpumpen Hochvakuum-Pumpen mit optimiertem Saugvermögen für Edelgase

Eine neue Reihe edelgasoptimierter Diodenpumpen ist für UHV-Anwendungen bis 10-12 mbar geeignet.

Anbieter zum Thema

KNF Neuberger GmbH - Business Unit LAB

Pfeiffer Vacuum GmbH

VACUUBRAND GMBH + CO KG

Leybold GmbH

Oerlikon Leybold Vacuum hat eine neue Ionen-Zerstäuberpumpen Produktlinie vorgestellt. Ionen-Zerstäuberpumpen arbeiten nach dem Prinzip des Getterns reaktiver Gasteilchen bzw. Ionenimplantation von Edelgasen und erreichen eine sehr gute Pumpwirkung bis in den UHV-Bereich. Die Pumpen der Produktreihe IZ sind Diodenpumpen mit einem optimierten Saugvermögen für Edelgase bis 10-12 mbar im UHV. Sie sind für Saugvermögen (N2) von 30 bis zu 400 l/s erhältlich. Die Pumpen erzeugen nach Herstellerangaben ein absolut sauberes, kohlenwasserstofffreies und vibrationsfreies Ultra-Hochvakuum, wie es z.B. bei hochempfindlichen Raster-Elektronen-Mikroskopen, in der Hochenergie-Physik, bei der UHV-Aufdampftechnik (MBE) und in Bereichen der Nano Technik erforderlich ist.

Fünf verschiedene Modelle

Die Produktreihe umfasst die Modelle IZ30, IZ50, IZ100, IZ200 sowie IZ400. Der Einbau kann lageunabhängig erfolgen und die Pumpen sind wartungsfrei. Eine Zusatzkühlung ist nicht erforderlich. Zur direkten Druckmessung bis ca. zehn bis elf mbar ist das Betriebsgerät IPC erhältlich. Dieses verfügt über eine integrierte Druckanzeige.

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