Laminationsverfahren für die Optofluidische On-Chip-Absorptionsspektroskopie
Abb. 4: Prozessabfolge bei der Herstellung eines organischen DFB-Lasers, (a) Aufschleudern des Photoresist auf den Stempel, (b) UV-Belichtung des Photoresist, (c) Lamination, (d) Abziehen des Stempels vom Photoresist, (e) Photoresist mit eingeprägtem DFB-Gitter, (f) Aufschleudern des organischen Lasermaterials (Hochschule Karlsruhe) 3/5 Zurück zum Artikel