Blick in die Reinraumsektion für Beschichtungstechnologie des MAIN-Gebäudes: Karthikeyan Manga Loganathan (l.) und Yu Hong von der Professur Materialsysteme der Nanoelektronik begutachten auf einem Wafer die mit einem neuen Elektronenstrahl-Verdampfer hergestellte sehr reine und dünne Beschichtung im Nanometer-Bereich. Diese Schichten sind Gegenstand zahlreicher neuer Forschungs- und Entwicklungsfelder im Bereich Nanotechnologie. (Jacob Müller) 4/11 Zurück zum Artikel