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Prozessthermostate Temperierung für die Halbleiterindustrie

Redakteur: Doris Popp

Die neue Lauda-Semistat-Gerätelinie umfasst drei Modelle. Mit dem Semistat S 1200 bietet Lauda ein günstiges Einstiegsgerät mit einer gleich gebliebenen Kälteleistung von 1,2 kW bei 20 °C.

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Semistat-Gerätelinie
Semistat-Gerätelinie
(Bild: Lauda)

Beim neu entwickelten Semistat S 2400 bleibt der bewährte mechanische und hydraulische Aufbau der Reihe erhalten. Der Prozessthermostat nutzt außerdem die jüngsten Fortschritte im Bereich der Thermoelektrik. So kommen leistungsfähige Peltierelemente der neusten Generation zum Einsatz. Mit dem Semistat 4400 bringt Lauda eine neue Leistungsklasse mit 4,4 kW Kälteleistung auf den Markt. Dieser Prozessthermostat wurde speziell für Anwendungen mit 300-mm-Wafern mit hohem Leistungsbedarf bei tiefen Temperaturen entwickelt. Die Semistat-Prozessthermostate sind optimiert für die exakte Temperaturregelung bei Plasmaätzanwendungen in der Halbleiterindustrie. Beim Ätzprozess werden definierte Bereiche auf der Oberfläche der Wafer entfernt. Die Wafer-Chucks, die sich innerhalb der Plasmaätzkammer befinden, werden durch eine dynamische Temperaturregelung auf konstanter Temperatur gehalten, damit Temperaturdrifts verhindert werden.

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