Eric Pankenin (vorn) und Rachappa Ravishankar von der Professur Materialsysteme der Nanoelektronik der TU Chemnitz nehmen im Lithographie-Bereich eines Reinraums des MAIN-Gebäudes optische Mikroskope zur Prozesskontrolle in Betrieb.
(Bild: Jacob Müller)
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