Probenvorbereitung Proben in 3D untersuchen

Erweiterungen im FIB-SEM Zeiss Crossbeam 350/550 und der Software Zeiss Atlas 5 ermöglichen es, multidimensionale Studien schneller durchzuführen und eine bessere Datenqualität zu erzielen.

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Carl Zeiss Microscopy GmbH

Bei der Untersuchung von Proben in 3D gelangen Forscher in der Materialforschung und den Lebenswissenschaften nun schneller als bisher in tief unter der Oberfläche liegende Regionen. Erweiterungen im FIB-SEM Zeiss Crossbeam 350/550 und der Software Zeiss Atlas 5 ermöglichen es, multidimensionale Studien schneller durchzuführen und eine bessere Datenqualität zu erzielen. Dies ist laut Zeiss geeignet für die additive Fertigung, Elektronik, Batterieforschung, Biomaterialien und Untersuchungen biologischer Proben. Die neu eingeführte, patentierte LaserFIB auf Zeiss Crossbeam 350/550 soll die schnelle, Gallium-freie Bearbeitung von größeren Flächen einer Probe sowie den Zugang zu tief verborgenen Strukturen ermöglichen. Der Materialabtrag mit dem Laser wird in einer gesonderten Kammer durchgeführt, um eine Kontamination des FIB-SEMs zu vermeiden. Der Femtosekundenlaser der nächsten Generation sorgt für einen massiven Materialabtrag in kurzer Zeit ohne störende durch den Laser verursachte Wärmeeffekte. Große Volumina können laut Firmenangaben bis zu 50-mal schneller als mit einer Plasma-Ionenquelle abgetragen werden.

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