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Dies ist unerlässlich für Elektronen- und Rastertunnelmikroskope: Um hochauflösende Bilder produzieren zu können, darf die Pumpe keine Schwingungen auf das Gerät übertragen. Elementar dafür ist, dass die Rotoren und das Gehäuse auch bei hohen Drehzahlen von bis zu 12 600 min-1 friktionsfrei laufen. Zwischen den Rotoren und dem Rotorgehäuse liegt ein sehr schmaler Spalt. Eine Berührung von Rotor und Gehäuse würde bei den hohen Drehzahlen einen Totalschaden bedeuten. Um dies auch bei hohen Temperaturen und Lastwechseln auszuschließen, werden hohe Anforderungen an die Fertigungstoleranzen gestellt. Das mehrstufige Wälzkolbenprinzip ist schon seit einigen Jahren etabliert – mithilfe verbesserter Fertigungsverfahren gelingt es Leybold nun mit der Ecodry plus neue Maßstäbe bei der Drehzahl der Pumpen zu setzen. Gemessen an branchenüblichen Lösungen generiert sie zudem weniger Wärme, was auch geringere Betriebskosten bei der Klimatisierung bedeutet.
Downsizing für Anwendungen mit begrenztem Platz
In ihrer Klasse ist die Ecodry plus eine der leichtesten und kompaktesten Vakuumkomponenten. Dies werden Anwender schätzen, weil Systeme für Forschung und Entwicklung in Laboren, Instituten und Universitäten ihre Leistung zumeist auf engem Raum abliefern müssen. Auch bezüglich ihrer Leistungsdaten ist die Pumpe auf den Punkt entwickelt und bringt exakt die Performance, die für typische Anwendungen benötigt wird. „Daher konnten wir die mechanischen Komponenten kompakter auslegen und kommen mit einem kleineren Motor und kleineren Elektronikkomponenten aus“, skizziert Alexander Kaiser die Motive. Die Schmierung erfolgt nur im Bereich der Lagerung der Wellen, die durch ein verschleißfreies Dichtungssystem vom Schöpfraum getrennt sind, sodass keine Schmiermittel und Partikel in den Schöpfraum und den Rezipienten eindringen und eine Verschlechterung von Enddruck oder Saugvermögen verursachen. Dies bedingt einen geringen Wartungsaufwand, der in Ultrahochvakuum-Anwendungen geschätzt wird. Hier sind zuverlässig betriebene Vorvakuumpumpen gefragt, die dafür sorgen, dass sich Anwender auf ihre Experimente konzentrieren können.
Ausgestattet mit zwei flexiblen Schnittstellen, kann die Pumpe auch ferngesteuert werden. Bei der Verwendung in kommerziellen Analyse-Systemen wird sie häufig in die Anlagensteuerung eingebunden und nach Bedarf gestartet, gestoppt, in der Geschwindigkeit variiert und auch überwacht.
Die Ecodry plus eignet sich auch für Großbeschleuniger, weil sie Verunreinigungen durch Staub oder Öl vermeidet. Zudem sollten moderne Pumpen in der Lage sein, ein kontinuierliches Wasserdampfaufkommen zu bewältigen. Dämpfe können etwa in Trocknungsanwendungen, der Regeneration von Kryopumpen oder beim Auspumpen großer Rezipienten mit großen Oberflächen anfallen. Die Ecodry plus ist dafür mit einem Gasballast-Ventil ausgestattet, das manuell geöffnet werden kann, um Wasserdampfmengen von bis zu 500 g/h ohne Kondensation zu pumpen. Da der Gasballast-Einlass über einen integrierten Schalldämpfer verfügt, wird auch dadurch eine unerwünschte Geräuschentwicklung unterdrückt.
Neben Vorvakuumpumpen wie der Ecodry Plus sind auch die Hochvakuumpumpen aus dem Hause Leybold, wie die Turbomolekularpumpen-Familie Turbovac i und Turbovac iX, für den Analysen- sowie Forschungs- und Entwicklungsmarkt entwickelt worden.
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