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Reinraumtechnik Reinraumtechnik: Die richtige Idee kann oft aus einer anderen Branche kommen

| Autor / Redakteur: Christian Ehrensberger / Anke Geipel-Kern

Reinraumtechnik ist nicht nur eine Domäne der Pharmaindustrie. Deshalb können aus anderen Branchen wichtige Impulse kommen, denn die Standards sind in der Halbleiter- oder der Medizintechnik nicht minder hoch.

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(Bild: Klaus Hohnwald/STZ-EURO)

Der Reinraum führt wie kaum ein anderer Zweig der angewandten Technik viele Kompetenzen zusammen. Hier treffen sich Luft- und Klimatechnik, Wasseraufbereitung, Steuer- und Regelungstechnik, Sensorik und ganz allgemein analytische Verfahren (z.B. Partikelzähler). Von Fortschritten in diesen Bereichen profitieren so unterschiedliche Anwendungsgebiete wie die kleinstrukturierten Welten von Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, die unendlichen Weiten des Weltalls.

Quer durch alle Branchen geht ein starker Trend weg vom großen Reinraum zu kleinen, lokalen Lösungen. Dies hat viel mit der Miniaturisierung der herzustellenden Strukturen zu tun. So versucht man in der Halbleitertechnik, immer mehr Informationen auf eine Siliziumscheibe zu bringen. Dazu will man die aufgebrachten Linienbreiten noch winziger machen, als sie heute schon sind. Strukturen bis hinunter zu Feinheiten von 20 Nanometern sind bereits in der Produktion. Für das kommende Jahr hat das bekannte Unternehmen Intel 14 Nanometer angekündigt. Die zurzeit angestrebte Zielmarke liegt sogar bei 7 Nanometern.

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In diesen Bereichen kann ein einzelnes Staubkorn den gesamten Prozess beeinträchtigen – bis zum Verwerfen ganzer Chargen. Schon aus Qualitätsgründen empfehlen sich daher in der Halbleitertechnik möglichst kleine Reinräume. Hinzu kommen Kostenaspekte: Jeder Kubikzentimeter Reinraum ist teuer.

Darinnen sollten sich daher nur die wirklich sensiblen Komponenten befinden und Maschinen sowie andere Geräte, die „unrein“ sein dürfen, von extern angekoppelt werden. Der kostengünstigste Reinraum ist der, den der Betreiber auf diese Weise eingespart hat. Als weitere Herausforderung schon für die nächste Wafer-Generation kommt übrigens die geplante Verwirklichung größerer Durchmesser hinzu: 450 Millimeter statt bisher 300 Millimeter.

So fungiert die Medizintechnik als Impulsgeber

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